工作原理：	气体传输泵	抽气机理：	变容真空泵
结构：	回转式真空泵

机械式真空发生器经常会出现真空波动。EXAIR的单级在线式设计消除了这种波动，提供持续稳定的真空。灰尘和其他污物可以轻易通过真空发生器而不会妨碍机器运转（真空发生器上无需过滤器）。E-Vac免维护，无活动部件损耗。

各组件小巧紧凑，易于将组件紧密安装在作业面（将E-Vac放在需要真空的地方），消除了长距配管中可能出现的线损并提高了周速。这也可以免除需要更大的真空发生器。在使用真空吸盘时，能保证快速吸住和脱落次数。